书名: MEMS多晶圆旋转机械 : 涡轮机, 发电机和发动机= Multi-wafer rotating MEMS machines : turbines、generator and engines

ISBN: 978-7-118-10543-8

作 者: (美) Jeffrey H. Lang著 ; 刘欢 ... [等] 译

出版社: 国防工业出版社

出版日期: 2016