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书名: 硅微机械加工技术
ISBN: 978-7-5025-9258-5
作 者: (法)M.埃尔温斯波克(M. Elwenspoek)，(捷)H.扬森(H. Jansen)著
出版社: 化学工业出版社
出版日期: 2007
简 介
书名: 硅微机械加工技术
ISBN: 978-7-5025-9258-5
作 者: (法)M.埃尔温斯波克(M. Elwenspoek)，(捷)H.扬森(H. Jansen)著
出版社: 化学工业出版社
出版日期: 2007