书名: 微传感器MEMS与智能器件
ISBN: 978-7-5026-2557-3
作 者: (英)朱利安 W. 加德纳(Julian W. Gardner),(美)维贾伊 K. 瓦拉丹(Vijay K. Varadan),(美)奥萨马 O. 阿瓦德卡里姆(Osama O. Awadelkarim)著
出版社: 中国计量出版社
出版日期: 2007