书名: 半导体材料标准汇编 : 2014版. 基础、产品和管理标准分册
ISBN: 978-7-5066-7751-6
作 者: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会, 中国标准出版社编
出版社: 中国标准出版社
出版日期: 2014