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书名: MEMS材料与工艺手册
ISBN: 978-7-5641-4053-3
作 者: (美) 利萨·格迪斯, 林斌彦著= MEMS materials and processes handbook
出版社: 东南大学出版社
出版日期: 2014
简 介
书名: MEMS材料与工艺手册
ISBN: 978-7-5641-4053-3
作 者: (美) 利萨·格迪斯, 林斌彦著= MEMS materials and processes handbook
出版社: 东南大学出版社
出版日期: 2014